12月2日消息 据中国台湾经济日报报道，EUV 光刻机制造商 ASML 首席执行官 Peter Wennink 带领高管拜访三星，双方寻求技术与投资合作。三星希望能抢在台积电之前，取得 ASML 下一代 EUV 设备供应。

业内人士分析称，三星积极追赶台积电，不过台积电在高良率与低功耗方面拥有优势。7nm 制程方面，台积电先推出 FinFet 架构的 7nm 技术，再推出使用 EUV 的 N7 + 制程。5nm 方面，三星与台积电仍有二成产能的差距。

台媒指出，供应链透露，台积电目前已采购 35 台 EUV 设备，占 ASML 过半产量，2021 年底采购总量将超过 50 台。相较之下，三星 EUV 设备采购量目前不到 20 台。

台媒 DigiTimes 今年 9 月曾表示，台积电加速先进制程推进，累计 EUV 光刻机至 2021 年底将超过 50 台。相较之下，三星电子 2021 年还不到 25 台，同时 EUV POD(光罩传送盒)采购量远低于预期。